1200℃集成型自動(dòng)小型PECVD系統(tǒng)

系統(tǒng)型號(hào)

PECVD-12IH-500A

PECVD-12IH-4Z/G

控制方式

液晶屏微PLC控制系統(tǒng)

手動(dòng)

極限溫度

1200℃

加熱區(qū)長(zhǎng)度

200mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

100mm

溫區(qū)

單溫區(qū)

石英管管徑

Φ60mm

Φ50mm

額定功率

1.2Kw

2Kw

額定電壓

220V

滑動(dòng)方式及距離

自動(dòng)滑動(dòng);200mm

手動(dòng)滑動(dòng);200mm

溫度控制

30段程序控溫

50段程序控溫

控制精度

±1℃

爐管極限工作溫度

＜1200℃

氣路法蘭

采用多環(huán)密封技術(shù)卡箍快速連接

排風(fēng)冷卻裝置

的空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，當(dāng)爐體表面溫升到50℃時(shí)，

排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng)，使?fàn)t體表面快速降溫。

氣體控制方式

質(zhì)量流量計(jì)（按鍵式）

氣路數(shù)量

2路（2-4路）

4路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）

流量范圍

0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定

精度

±1%F.S

響應(yīng)時(shí)間

1sec

工作溫度（流量計(jì)）

20-120℃

工作壓力

進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）

進(jìn)氣方式

采用防倒流設(shè)計(jì)

規(guī)格

中真空（集成型請(qǐng)單獨(dú)購(gòu)買）

系統(tǒng)真空范圍

10Pa-100Pa

真空泵

雙級(jí)機(jī)械泵理論極限真空度3x10^-1Pa，抽氣速率4L/S（選配：其他抽速真空泵）,出氣口配有油污過(guò)濾器，額定電壓220V，功率0.55Kw

信號(hào)頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍

0W-500W

0W-100W

大反射功率

350W

30W

射頻輸出接口

50Ω，N-type,temale

功率穩(wěn)定度

±0.1%

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流（187V-253V)頻率50/60HZ

整機(jī)功率

≥70%

屏幕顯示

正方向功率，匹配器電容位置，偏置電壓值

爐體外形尺寸

290×350×340mm

290×350×495mm

系統(tǒng)外形尺寸

420×1440×1100mm

530×2310×750mm

系統(tǒng)總重量

270Kg